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檢測儀器和測量測量技術的發展方向

日期:2020-11-13 22:11
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摘要: 檢測儀器和測量測量技術的發展方向 測量技術與儀器涉及所有物理量的測量,對於材料、工程科學、能源科學關係密切。目前的發展趨勢有以下幾點: (1)以自然基準溯源和傳遞,同時在不同量程實現國際比對。如果自己沒有能力比對就要依靠其它國家。 (2)高精度。目前半導體工藝的典型線寬為0.25μm,並正向0.18μm過渡,2009年的預測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3,那麽就要求10nm量級的精度,而且晶片尺寸還在增大,達到300mm。這就意味著測量定位係統的精度要優於3×10的-8次方,相應的激光穩...

檢測儀器和測量測量技術的發展方向

測量技術與儀器涉及所有物理量的測量,對於材料、工程科學、能源科學關係密切。目前的發展趨勢有以下幾點:
 (1)以自然基準溯源和傳遞,同時在不同量程實現國際比對。如果自己沒有能力比對就要依靠其它國家。
 (2)高精度。目前半導體工藝的典型線寬為0.25μm,並正向0.18μm過渡,2009年的預測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3,那麽就要求10nm量級的精度,而且晶片尺寸還在增大,達到300mm。這就意味著測量定位係統的精度要優於3×10的-8次方,相應的激光穩頻精度應該是10的-9次方數量級。
 (3)高速度。目前加工機械的速度已經提高到1m/sec以上,上世紀80年代以前開發研製的儀器已不適應市場的需求。例如惠普公司的幹涉儀市場大部分被英國Renishaw所占領,其原因是後者的速度達到了1m/sec。
 (4)高靈敏,高分辨,小型化。如將光譜儀集成到一塊電路板上。
 (5)標準化。通訊接口過去常用GPIB、RS232,目前有可能成為替代物的高性能標準是USB、IEEE1394和VXI。現在,技術優越者設法控製技術標準,參與標準製訂是儀器開發的基礎研究工作之一。
 我國儀器科技的發展現狀
 (1)由於長期習慣於仿製國外產品,我國的儀器儀表工業缺乏**能力,跟不上科學研究和工程建設的需要。
 (2)我國儀器科學與技術研究領域積累了大量科研成果,許多成果處於國際優越水平,有待篩雪提高和轉化,但產業化程度很低,沒有形成具有國際競爭力的完整產業。
 未來發展趨勢
 1.發展方向與學科前沿
 (1)配合數控設備的技術**(如主軸速度,精度創成)
 數控設備的主要誤差來源可分為幾何誤差(共有21項)和熱誤差。對於重複出現的係統誤差,可采用軟件修正;對於隨機誤差較大的情況,要采用實時修正方法。對於熱誤差,一般要通過溫度測量進行修正。我國機床行業市場萎縮同時又大量進口國外設備的原因之一就是因為這方麵的技術沒有得到推廣應用。為此,需要高速多通道激光幹涉儀:其測量速度達60m/min以上,采樣速度達5000次/sec以上,以適應熱誤差和幾何誤差測量的需要。空氣折射率實時測量應達到2×10的-7次方水平,其測量結果和長度測量結果可同步輸入計算機。
 (2)運行和製造過程的監控和在線檢測技術
 綜合運用圖像、頻譜、光譜、光纖以及其它光與物質相互作用原理的傳感器具有非接觸、高靈敏度、高柔性、應用範圍廣的優點。在這個領域綜合**的天地十分廣闊,如振動、粗糙度、汙染物、含水量、加工尺寸及相互位置等的測量。
 (3)配合信息產業和生產科學的技術**
 為了在開放環境下求得生存空間,沒有自主**技術是沒有出路的。因此應該根據有磚利權、有技術含量、有市場等原則選擇一些項目予以支持。根據當前發展現狀,信息、生命醫學、環保、農業等領域需要的產品應給予優先支持。如醫學中介入**的精密儀器設備、電子工業中的超分辨率光刻和清潔方法、機理研究等。
 2.優先領域
 在基礎研究的初期,對於能否有突破性進展是很難預測的。但是,當已經取得突破性進展時,則需要有一個轉化機製以進入市暢